MKS微型皮拉尼真空計（925）

925微型皮拉尼真空傳感器是一種基于獨特 MEMS（微電子機械系統）真空傳感器的熱導真空計。925微型 Pirani™ 提供模擬電壓輸出、數字接口和用于過程控制的設定點繼電器。

ljue對測量范圍從10^-5Torr到大氣壓

lMicroPirani傳感器能夠承受空氣沖擊或振動造成的損壞

l模擬、RS232、RS485 和 EtherCAT® 版本

l可選的集成觸摸屏顯示用于當地壓力指示

l三個可選的過程控制設定點繼電器

MKS微型皮拉尼真空計（925）

技術參數

功能

微 Pirani™ 傳感器技術

925 轉換器提供了從 1x10^-5torr到大氣壓的廣泛測量范圍，其基于熱導率的測量。MicroPirani 傳感器由一個帶有加熱電阻元件的硅芯片組成，該元件形成腔體的一個表面。芯片上的蓋子形成腔體的另一個表面。由于傳感器的幾何形狀，腔體內無法發生對流，因此傳感器對安裝位置不敏感。氣體分子僅通過擴散到達加熱元件，在此測量氣體的熱損失。

常見氣體校準

像所有的熱導率傳感器一樣，925對氣體類型敏感。為了補償氣體依賴性，MicroPirani 具有多種常見的氣體校準，可以通過數字接口進行選擇。這使得它成為在真空系統中定位中到小泄漏的簡單解決方案。校準氣體包括：空氣、氬氣、氦氣、氮氣、氫氣、水蒸氣、二氧化碳、氙氣和氖氣。

模擬壓力輸出

925 還具有 1VDC/decade 的模擬壓力輸出，可以與外部模擬設備連接，用于壓力讀取或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數字用戶界面進行選擇。

過程控制繼電器

925最多可以有三個機械繼電器，可用于過程控制，例如聯鎖閥或泵。

可選集成觸摸屏顯示

可選的集成觸摸屏顯示器可以由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并且可以訪問設定點參數以及氣體類型。該顯示器還顯示可用設定點繼電器的狀態。在高對比度顯示屏上，可以從5米外清楚地看到單個傳感器的壓力讀數或組合讀數。

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