域勢科技電容金屬薄膜真空計（加熱型）

加熱型電容金屬薄膜真空計采用單側雙電極差分電容設計，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測量精度，響應迅速，性能穩定，抗腐蝕性強，提供從45℃至120℃多個恒溫版本，0.1Torr至1000Torr全系列滿刻度范圍，具有優秀的性能，適用于苛刻的半導體和等離子、高危材料純化等精確總壓測量與控制的理想之選。

DMG100系列壓力傳感器具有恒溫故障和設備故障繼電器輸出功能。

優點

1.恒溫型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器

l高靈敏度

l高精度和重復性

l長期穩定性高

2.傳感器全部為堅固且耐腐蝕Inconel合金

l不依賴氣體，測量結果與氣體成分無關

l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用

l真空計材料對過程無污染

3. 輸出信號豐富

l易于集成，接口豐富，滿足各種系統集成需求

l獨立的Type C 診斷、調試、配置接口

4.故障輸出功能/壓力觸發輸出功能

l通過繼電器輸出：恒溫故障和設備故障/壓力觸發信號

域勢科技電容金屬薄膜真空計（加熱型）

技術參數

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。