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產品中心PRECESS普瑞賽思普瑞賽思真空閥門V70PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥
產品簡介
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學氣相沉積（CVD），其技術采用單軸氣動執行器驅動的L型運動。在L型運動中，隔板垂直移動到關閉位置——無需與閥體接觸——然后在最終運動中水平推至隔板座，密封件以固定力接觸隔板座，該力與連接的氣壓相關。這不僅避免了摩擦和由此產生的潛在顆粒生成，還最小化了密封件的磨損。
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產品分類| 品牌 | 域勢科技 | 外形尺寸 | 50*336mm |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）
為了最小化顆粒生成和激活，隔板上安裝了插入式O形圈密封，硫化密封件是一種選擇。這是一種高度可靠且比標準O形圈密封更耐用的密封解決方案，盡管標準O形圈密封也可作為選項提供。軸通過高耐用金屬焊接波紋管進行密封。
在斷電情況下，V70可以在關閉位置機械鎖定。 已經在各種半導體、太陽能和工業生產過程中的數百個苛刻應用中安裝使用，V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅固的設計以及簡化和易于維護的特點，V70系列在各個方面都令人信服。
V70換向閥始終根據客戶規格定制。盡管如此，四種基本設計類型是預定義的：兩種具有不同后側開口的閥門類型和兩種具有內部或外部腔室閥座的插入類型。
閥體材料選項包括鋁、硬陽極氧化、鎳鍍層或不銹鋼。閘門和蓋子密封件為FKM或FFKM。其他密封材料可根據要求提供。
特征：
l半標準應用（半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296）
l低振動。獲得認證的L形運動連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快的速度
l更平穩的氣動執行器
l機械鎖處于關閉位置
優點：
l焊接波紋管執行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
應用：
l半導體加工
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板制造
lLCD/平板工藝
l所有其他集群真空系統
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）
技術參數
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