EBARA ESA系列真空干泵

產品簡介

EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MOCVD等大流量輕質氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件。

產品型號：ESA70W，ESA100W，ESA200W

更新時間：2025-08-22

廠商性質：代理商

訪問量：1629

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EBARA荏原

EBARA荏原真空泵

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品牌	EBARA/荏原	功率	3-9kW
輸送介質	其他	泵軸位置	臥式
極限壓力	0.53pa	葉輪數目	多級
抽氣速率	1400-80000L/MINl/s	抽氣量	1400-80000L/MIN
最大工作壓強	10	重量	410kg
電壓	380V	排出口徑	200-500mm
流量	1200M3/hm3/h	應用領域	醫療衛生,環保,能源,電子/電池,航空航天

EBARA ESA系列真空干泵 EBARA ESA系列真空干泵

EBARA ESA系列真空干泵抽速達1400L/min～10,000L/min，適合氫氣等輕質氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機型，適合大型腔室高速排氣；采用緊湊化設計，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機型兼具大排氣量和靜音低振的優點，還可選擇有機溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預真空的zuijia選擇。EBRA真空泵優良的控制和監測在半導體等要求苛刻的需求中得到長時間驗證。

技術特點：

l 滿足大型真空腔室高速排氣要求

l 低能耗、高抽速

l 選配后可抽取有機氣體、腐蝕性氣體

l 適合氫氣等輕質氣體排氣

l 智能轉子 RPM 控制功能，可實現靈活的氣體通量

l 認證標準： CE、SEMI-S2/NRTL

典型應用：

l LCD、FPD、OLED等行業

l 高含量輕質氣體的真空抽取（如H2）

l 腐蝕性氣體的抽取

l PVD、MOCVD等工藝

l 半導體、光伏制程

技術參數：

EBARA ESA系列真空干泵

設備名稱		單位	ESA15-D	ESA25-D	ESA25XW	ESA70W(-D)	ESA70WN(-D)
排氣速度		L/min	1,400 (50Hz)	2,500 (50Hz)	5,000 (50Hz)	7,000 (50Hz)	7,000 (50Hz)
排氣速度		L/min	1,700 (60Hz)	3,000 (60Hz)	6,000 (60Hz)	8,400 (60Hz)	8,400 (60Hz)
極限壓力		Pa	400 (50Hz)	5.3 (50Hz)	5.3 (50Hz)	0.27 (50Hz)	0.4 (50Hz)
極限壓力		Pa	270 (60Hz)	4.0 (60Hz)	4.0 (60Hz)	0.13 (60Hz)	0.27 (60Hz)
連接口徑	吸氣口		NW40	NW50	ISO80	NW50	NW50
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力時功率概值		kW	2.9 (50Hz)	2.6 (50Hz)	5.2 (50Hz)	3.6 (50Hz)	3.6 (50Hz)
極限壓力時功率概值		kW	3.2 (60Hz)	2.9 (60Hz)	5.8 (60Hz)	4.0 (60Hz)	4.0 (60Hz)
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	3.5~8	7~16	3.5~8	3.5~8
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	14~17 (4.6)	17~20 (3.8)	34~40	24~27 (4.7)	24~27 (4.7)
電源　相／電壓／頻率	200V機型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz
	400V機型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz
	460V機型
	460V機型
電源容量		kVA	6.4	6.4	12.8	10.3	10.3
質量概值		kg	240	240	480	380	380

設備名稱		單位	ESA80W-HDF	ESA80WN-HDF	ESA100W	ESA100WN
排氣速度		L/min	8,400 (50Hz/60Hz)	8,400 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)
排氣速度		L/min	8,400 (50Hz/60Hz)	8,400 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)	10,000 (50Hz/60Hz)
極限壓力		Pa	0.13	0.27	0.13	0.27
極限壓力		Pa	0.13	0.27	0.13	0.27
連接口徑	吸氣口		NW50	NW50	NW50	NW50
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW40
極限壓力時功率概值		kW	4.2	4.2	4.9	4.9
極限壓力時功率概值		kW	4.2	4.2	4.9	4.9
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	54~57	54~57	54~57	54~45
電源　相／電壓／頻率	200V機型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz
	400V機型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz
	460V機型
	460V機型
電源容量		kVA	12.6	12.6	12.6	12.6
質量概值		kg	400	400	400	400

設備名稱		單位	ESA200W	ESA300W	ESA500W	ESA700W
排氣速度		L/min	20,000 (50Hz/60Hz)	28,000 (50Hz)	47,000 (50Hz)	80,000 (50Hz/60Hz)
排氣速度		L/min	20,000 (50Hz/60Hz)	30,000 (60Hz)	50,000 (60Hz)	80,000 (50Hz/60Hz)
極限壓力		Pa	0.53	0.53	0.53	0.5
極限壓力		Pa	0.53	0.53	0.53	0.5
連接口徑	吸氣口		NW80	ISO100	ISO160	ISO160
連接口徑	排氣口		NW40	NW40	NW40	NW50
極限壓力時功率概值		kW	3.2 (50Hz)	6.6 (50Hz)	5.1 (50Hz)	7.4
極限壓力時功率概值		kW	3.4 (60Hz)	7.3 (60Hz)	6.7 (60Hz)	7.4
冷卻水	流量	L/min	3.5~8	6~9	6~9	6~9
冷卻水	溫度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	17~20 (3.8)	7.5~10.5	8.5~11	8.5~11
電源　相／電壓／頻率	200V機型		三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz	三相/200V/50Hz
	200V機型		三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz	三相/200-220V/60Hz
	400V機型		三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	三相/380-400V/50Hz	-
	400V機型		三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	三相/380-440V/60Hz	-
	460V機型			三相/440V/50Hz	三相/440V/50Hz	三相/440V/50Hz
	460V機型			三相/440-480V/60Hz	三相/440-480V/60Hz	三相/440-480V/60Hz
電源容量		kVA	12	23.7	41.3	46.5
質量概值		kg	410	700	750	1200

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。

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