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使用Alicat MCVS防腐蝕真空氣體質(zhì)量流量控制器配備氣動(dòng)截止閥，可用于控制真空應(yīng)用中 128 多種氣體（包括 30 多種腐蝕物）的質(zhì)量流量或壓力。

Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器配備 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，可輕松直接升級到真空沉積裝置，控制 98 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力。可以控制腐蝕性氣體。

Alicat MCDS防腐蝕雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以同時(shí)控制質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力方向，同時(shí)測量多達(dá) 130 種氣體的流量、氣體壓力和氣體溫度，包括 30 多種腐蝕物。

Alicat MCDW低壓損雙向氣體質(zhì)量流量控制器可以在可用系統(tǒng)壓力非常小時(shí)（壓降低至 0.07 PSID）時(shí)控制兩個(gè)方向的質(zhì)量流量、體積流量或氣體壓力。

Alicat艾里卡特科里奧利質(zhì)量流量泵控制器很容易與現(xiàn)有的液體或氣體泵過程集成，無需單獨(dú)的PID控制器即可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。該控制器還可以配置為命令閥門與加壓氣體一起使用。 該精密控制器讀取質(zhì)量流量在40毫秒，并發(fā)送數(shù)字信號(hào)，以控制泵在140毫秒?？刂破骷嫒莞哌_(dá)200 cP的氣體和液體，流速高達(dá)300 kg/h。

Alicat艾里卡特MBS耐腐蝕氣體質(zhì)量流量計(jì)（便攜式）可測量 130 多種氣體的質(zhì)量流量和體積流量，包括 32 多種腐蝕性氣體，使其成為流動(dòng)腐蝕性氣體過程的移動(dòng)校準(zhǔn)、驗(yàn)證和驗(yàn)證的理想選擇。

Alicat艾里卡特MWB低壓損氣體質(zhì)量流量計(jì)（便攜式）測量質(zhì)量和體積流量,壓力降至0.07pid(4.8mb),用于沒有可用壓力的系統(tǒng)。

Alicat艾里卡特MBQ便攜高壓氣體質(zhì)量流量計(jì)在操作壓力下測量質(zhì)量和體積流量最高為320psIA(22bra)。

Alicat艾里卡特PCS系列防腐蝕壓力控制器(絕對壓力和測量)控制所有無腐蝕性氣體的絕對壓力或表壓壓力,適用腐蝕性氣體和各種液體。

Alicat艾里卡特PC3系列壓力控制器（帶遠(yuǎn)程傳感）測量系統(tǒng)中任何一點(diǎn)的絕對壓力或測量壓力,控制不同點(diǎn)的流量,這樣你就可以在需要的地方保持壓力。